| 发明名称 |
PRODUCTION OF SINGLE SILICON CRYSTAL OF HIGH PURITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52133084(A) |
申请公布日期 |
1977.11.08 |
| 申请号 |
JP19760048485 |
申请日期 |
1976.04.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP |
发明人 |
SUGA FUKUHIKO;TOMIZAWA KENJI;KOBAYASHI SHINICHIROU |
| 分类号 |
C30B15/02;C01B33/02;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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