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发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS52131466(A) 申请公布日期 1977.11.04
申请号 JP19760047709 申请日期 1976.04.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 YANAGISAWA HIROSHI;KAWAMOTO YOSHIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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