发明名称 SURFACE TREATMENT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS52131471(A) 申请公布日期 1977.11.04
申请号 JP19760047715 申请日期 1976.04.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 HONMA YOSHIO;NOZAWA HARUO;HARADA TADAYOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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