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发明名称
VERFAHREN ZUR WAERMEBEHANDLUNG VON SAPHIR-SILICIUM-PLAETTCHEN
摘要
申请公布号
DE2548192(B2)
申请公布日期
1977.11.03
申请号
DE19752548192
申请日期
1975.10.28
申请人
发明人
分类号
C30B33/02;C30B31/12;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/316;H01L21/324;(IPC1-7):B01J17/02
主分类号
C30B33/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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