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经营范围
发明名称
METHOD OF DEPOSITING LOW STRESS HAFNIUM THIN FILMS
摘要
申请公布号
US4056457(A)
申请公布日期
1977.11.01
申请号
US19760724550
申请日期
1976.09.20
申请人
RCA CORPORATION
发明人
VOSSEN, JR., JOHN LOUIS
分类号
C04B41/88;C23C14/14;C23C14/18;G11B3/46;G11B9/07;(IPC1-7):C23C15/00;B32B9/00
主分类号
C04B41/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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