发明名称 METHOD OF DEPOSITING LOW STRESS HAFNIUM THIN FILMS
摘要
申请公布号 US4056457(A) 申请公布日期 1977.11.01
申请号 US19760724550 申请日期 1976.09.20
申请人 RCA CORPORATION 发明人 VOSSEN, JR., JOHN LOUIS
分类号 C04B41/88;C23C14/14;C23C14/18;G11B3/46;G11B9/07;(IPC1-7):C23C15/00;B32B9/00 主分类号 C04B41/88
代理机构 代理人
主权项
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