发明名称 PROCESS FOR PRODUCING AN IMPROVED DIELECTRICALLY-ISOLATED SILICON CRYSTAL UTILIZING ADJACENT AREAS OF DIFFERENT INSULATORS
摘要
申请公布号 US4056414(A) 申请公布日期 1977.11.01
申请号 US19760737749 申请日期 1976.11.01
申请人 FAIRCHILD CAMERA AND INSTRUMENT CORPORATION 发明人 KOPP, ROBERT J.
分类号 H01L21/762;H01L21/764;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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