PATTERNING METHOD,申请号JP19760046582-传众专利搜索

发明名称	PATTERNING METHOD
摘要
申请公布号	JPS52130292(A)	申请公布日期	1977.11.01
申请号	JP19760046582	申请日期	1976.04.26
申请人	HITACHI LTD	发明人	HONMA YOSHIO;NOZAWA HARUO;HARADA TADAYOSHI;KACHI TADAO
分类号	H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306;H05K3/00	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
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