发明名称 |
PREPARATION OF MIS TYPE SEMICONDUCTOR CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52130572(A) |
申请公布日期 |
1977.11.01 |
申请号 |
JP19760047470 |
申请日期 |
1976.04.26 |
申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
SENBAI YUTAKA |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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