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发明名称
APPARATUS FOR MAKING THIN METAL LAYERS BY NEUTRALISATION OF IONS
摘要
申请公布号
CS179212(B1)
申请公布日期
1977.10.31
申请号
CS19750006631
申请日期
1975.10.01
申请人
ZIZKA,EMIL,CS
发明人
ZIZKA,EMIL,CS
分类号
(IPC1-7):C23C13/08
主分类号
(IPC1-7):C23C13/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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