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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52128059(A) 申请公布日期 1977.10.27
申请号 JP19760045709 申请日期 1976.04.20
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA MASARU
分类号 H01L21/60;H01L21/28 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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