发明名称 PATTERN FORMATION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS52128065(A) 申请公布日期 1977.10.27
申请号 JP19760045073 申请日期 1976.04.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGAWA KAZUFUMI
分类号 H01L21/31;H01L21/302;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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