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发明名称
ELECTRONIC BEAM EXPOSUE DEVICE
摘要
申请公布号
JPS52127772(A)
申请公布日期
1977.10.26
申请号
JP19760044196
申请日期
1976.04.20
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
NAKASUJI MAMORU
分类号
H01L21/027;H01L21/263
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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