发明名称 SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS52127162(A) 申请公布日期 1977.10.25
申请号 JP19760044576 申请日期 1976.04.19
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOJIMA TOMOAKI;OKU GUICHI;WADA HITOSHI
分类号 H01L21/52;H01L23/48;H01L23/50 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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