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发明名称
SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号
JPS52127162(A)
申请公布日期
1977.10.25
申请号
JP19760044576
申请日期
1976.04.19
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
KOJIMA TOMOAKI;OKU GUICHI;WADA HITOSHI
分类号
H01L21/52;H01L23/48;H01L23/50
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
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