发明名称 MINUTE PATERN FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPS52127174(A) 申请公布日期 1977.10.25
申请号 JP19760044525 申请日期 1976.04.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HATADA KENZOU
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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