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发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52126170(A) 申请公布日期 1977.10.22
申请号 JP19760041896 申请日期 1976.04.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INOUE MINORU;ITOGA MASANAO;IKEGAMI KAORU
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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