发明名称 DOPING PROCESS OF NITROGEN TO ALXGALLXAS
摘要
申请公布号 JPS52126166(A) 申请公布日期 1977.10.22
申请号 JP19760041781 申请日期 1976.04.15
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 MAKITA YUUNOSUKE;GONTA SHIYUNICHI
分类号 H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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