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发明名称
METHOD OF DEFLECTING CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号
JPS52124873(A)
申请公布日期
1977.10.20
申请号
JP19760041726
申请日期
1976.04.13
申请人
RIKAGAKU KENKYUSHO
发明人
GOTOU HIDEKAZU
分类号
H01J37/147;B23K15/02;H01J29/56;H01L21/027;H01L21/26;H04N3/16
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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