发明名称 METHOD OF DEFLECTING CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPS52124873(A) 申请公布日期 1977.10.20
申请号 JP19760041726 申请日期 1976.04.13
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 GOTOU HIDEKAZU
分类号 H01J37/147;B23K15/02;H01J29/56;H01L21/027;H01L21/26;H04N3/16 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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