发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS52123872(A) 申请公布日期 1977.10.18
申请号 JP19760041010 申请日期 1976.04.12
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 IKEDA TADASHI
分类号 H01L29/43;H01L21/28 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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