SAMPLE COOLER OF ELECTRON BEAM OBSERVATION EQUIPMENT,申请号JP19760040389-传众专利搜索

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发明名称	SAMPLE COOLER OF ELECTRON BEAM OBSERVATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPS52123862(A)	申请公布日期	1977.10.18
申请号	JP19760040389	申请日期	1976.04.12
申请人	HITACHI LTD	发明人	KUBOZOE MORIKI;KATAGIRI SHINJIROU;MINAKAWA KEIHISA
分类号	H01J37/20	主分类号	H01J37/20
代理机构		代理人
主权项
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