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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5241225(B1)	申请公布日期	1977.10.17
申请号	JP19710055650	申请日期	1971.07.27
申请人		发明人
分类号	C01B25/08;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/06;B01J17/20;H01L21/20	主分类号	C01B25/08
代理机构		代理人
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