发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM SCANNING UNIT
摘要
申请公布号 JPS52122075(A) 申请公布日期 1977.10.13
申请号 JP19760011202 申请日期 1976.02.04
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 WAANAA KAACHISU SUKOTSUTO
分类号 H04N5/68;H01J29/46;H01J31/12;H01J31/16 主分类号 H04N5/68
代理机构 代理人
主权项
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