| 发明名称 |
LOW STRESS SEMICONDUCTOR WAFER CARRIER AND METHOD OF MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4053294(A) |
申请公布日期 |
1977.10.11 |
| 申请号 |
US19760687672 |
申请日期 |
1976.05.19 |
| 申请人 |
CALIFORNIA QUARTZWARE CORPORATION |
发明人 |
SULLIVAN, JOHN E. |
| 分类号 |
C03B23/207;C23C16/458;C30B31/14;H01L21/673;(IPC1-7):C03B23/20 |
主分类号 |
C03B23/207 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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