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发明名称 GAS PHASE GROWTH DEVICE
摘要 PURPOSE:To make the gas phase growth reaction, by alternately arranging the ultrared ray lamp and the ultraviolet ray lamp, and covering the whole body by the reflective plate.
申请公布号 JPS52120681(A) 申请公布日期 1977.10.11
申请号 JP19760036140 申请日期 1976.04.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAEDA KAZUO;KUDOU DAIJIROU;FUJINO KATSUHIRO;KUMAKURA SHIYUNJI;TANIGAWA EIKI
分类号 C30B25/02;C23C16/48;C30B25/10;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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