| 发明名称 |
METHOD OF ETCHING AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52120772(A) |
申请公布日期 |
1977.10.11 |
| 申请号 |
JP19760132726 |
申请日期 |
1976.11.04 |
| 申请人 |
BUCKBEE MEARS CO |
发明人 |
HAABAATO EMU BONDO;CHIYAARUSU II RINGU;JIYON EI EDOGAA;RONARUDO BENETSUTO;UIRISU KEI POORU;RONARUDO ENU HAASHIYUBAAJIYAA |
| 分类号 |
C23F1/02;C23F1/00;C23F1/08;H01J9/14;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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