| 发明名称 |
METHOD FOR INDEPENDENT CONTROL OF VOLATILE DOPANTS IN LIQUID PHASE EPITAXY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US4053334(A) |
申请公布日期 |
1977.10.11 |
| 申请号 |
US19760707274 |
申请日期 |
1976.07.21 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
EHLE, ROGER S.;GARWACKI, WALTER |
| 分类号 |
C30B19/06;C30B19/10;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C30B19/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
