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发明名称 MANUFACTURE OF SEMIICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52119868(A) 申请公布日期 1977.10.07
申请号 JP19760036892 申请日期 1976.04.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAJIMA TATSUSUKE;KAJIWARA KOUSEI;NAGANO KAZUTOSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/302 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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