发明名称 Method of growing geometricallydefined epitaxial layer without formation of undesirable crystallites
摘要
申请公布号 US3206339(A) 申请公布日期 1965.09.14
申请号 US19630312703 申请日期 1963.09.30
申请人 PHILCO CORPORATION 发明人 THORNTON CLARENCE G.
分类号 H01L21/00;H01L21/20;H01L21/316 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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