| 发明名称 |
WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR HET ETSEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7701367(A) |
申请公布日期 |
1977.10.07 |
| 申请号 |
NL19770001367 |
申请日期 |
1977.02.09 |
| 申请人 |
BUCKBEE-MEARS COMPANY TE ST. PAUL, MINNESOTA, VER.ST.V.AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23F1/02;C23F1/00;C23F1/08;H01J9/14;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/08 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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