发明名称 PROCEDE DE CROISSANCE EPITAXIALE A TEMPERATURE HOMOGENE ET BASSE
摘要
申请公布号 FR2344123(A1) 申请公布日期 1977.10.07
申请号 FR19760006832 申请日期 1976.03.10
申请人 LABO ELECTRONIQUE PHYSIQUE APPLI 发明人 JEAN HALLAIS
分类号 C30B25/02;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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