发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN
摘要
申请公布号 DE2713479(A1) 申请公布日期 1977.10.06
申请号 DE19772713479 申请日期 1977.03.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 BHATTACHARYYA,ARUP;SILVERMAN,RONALD
分类号 H01L27/10;H01L21/033;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/265;H01L27/00 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
地址