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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN
摘要
申请公布号
DE2713479(A1)
申请公布日期
1977.10.06
申请号
DE19772713479
申请日期
1977.03.26
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.
发明人
BHATTACHARYYA,ARUP;SILVERMAN,RONALD
分类号
H01L27/10;H01L21/033;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/265;H01L27/00
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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