发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DUENNER LEITENDER SCHICHTEN ZUR REALISIERUNG VON IM NORMALZUSTAND AUSGESCHALTETEN FELDEFFEKTTRANSISTOREN
摘要
申请公布号 DE2543654(B2) 申请公布日期 1977.10.06
申请号 DE19752543654 申请日期 1975.09.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/265;H01L29/80 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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