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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HAFTFESTEN DUENNSCHICHTSTRUKTUREN
摘要
申请公布号
DE2119960(B2)
申请公布日期
1977.10.06
申请号
DE19712119960
申请日期
1971.04.23
申请人
发明人
分类号
C23F1/02;G03C1/705;G03F7/004;H01L21/00;H01L21/314;H01L49/02;H05K3/06;(IPC1-7):G03C5/00;B32B31/28;H01L21/02;H01L27/18;H01L21/306;H01L21/70;H01L49/00;G02B5/00
主分类号
C23F1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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