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发明名称 METHOD OF MULTI LAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPS52119448(A) 申请公布日期 1977.10.06
申请号 JP19760035651 申请日期 1976.03.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MATSUDA TAKASHI
分类号 H01L21/3205;B23K9/12;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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