发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS52119189(A) 申请公布日期 1977.10.06
申请号 JP19760035658 申请日期 1976.03.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MATSUDA TAKASHI
分类号 H01L29/80;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/06 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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