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发明名称
MANUFACTURING METHOD AND DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS52117563(A)
申请公布日期
1977.10.03
申请号
JP19760034831
申请日期
1976.03.30
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
MATSUDA TAKASHI;OOHASHI TAIZOU
分类号
H01L21/306;H01L21/48
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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