发明名称 |
ELECTRONIC BEAM EXPOSURE UNIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52117572(A) |
申请公布日期 |
1977.10.03 |
申请号 |
JP19760034179 |
申请日期 |
1976.03.30 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
NAKASUJI MAMORU;HORI KOUHEI |
分类号 |
H01J37/305;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/26;H01L21/48 |
主分类号 |
H01J37/305 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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