发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE2711128(A1) 申请公布日期 1977.09.29
申请号 DE19772711128 申请日期 1977.03.15
申请人 NCR CORP. 发明人 RAYMOND GULETT,MICHAEL
分类号 H01L21/027;H01L21/3105;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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