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发明名称 SELECTIVE ETCHING METHOD OF PLATINUM THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS52116170(A) 申请公布日期 1977.09.29
申请号 JP19760032564 申请日期 1976.03.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 ASHIKAWA KAZUTOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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