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发明名称 ION BEAM FINISHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52114196(A) 申请公布日期 1977.09.24
申请号 JP19760029934 申请日期 1976.03.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 HOSAKA SUMIO;KONDOU YATAROU;HASHIMOTO SEIYA;TAKAHASHI SUSUMU;ISHIKAWA KIYOSHI;KANAI KENYUU
分类号 B23K15/00;H01J37/30 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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