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发明名称 MASK MATCHING SHIFT MEASURING PATTERN
摘要
申请公布号 JPS52113768(A) 申请公布日期 1977.09.24
申请号 JP19760029932 申请日期 1976.03.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOYANAGI MITSUMASA;SATOU KIKUJI
分类号 H01L21/68;G01B7/00;G01B7/14;H01L21/66 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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