发明名称 SILICON COMPOSED BY EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS52113675(A) 申请公布日期 1977.09.22
申请号 JP19770028153 申请日期 1977.03.16
申请人 RCA CORP 发明人 CHIYAARUZU EDOWAADO UEITSUERU;RONARUDO TOOMASU SUMISU
分类号 C30B25/18;C30B15/00;C30B15/36;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/04 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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