发明名称 VERFAHREN ZUM AETZEN VON SILICIUM UNTER ANLEGUNG EINER ELEKTRISCHEN SPANNUNG
摘要
申请公布号 DE2707372(A1) 申请公布日期 1977.09.22
申请号 DE19772707372 申请日期 1977.02.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 LOUIS DEINES,JOHN;ROBERT POPONIAK,MICHAEL;OTTO SCHWENKER,ROBERT
分类号 H01L21/66;G01N27/00;G01R31/26;H01L21/306;(IPC1-7):C25F3/12 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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