发明名称 MIS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 PURPOSE:To obtain a MIS type semiconductor device for memory by mounting an electrode to a window for forming a source zone through a Ti-based insulating film and providing a capacity element thereto.
申请公布号 JPS52113181(A) 申请公布日期 1977.09.22
申请号 JP19760029239 申请日期 1976.03.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWAMATSU SEIICHI;HIROBE YOSHIMICHI;TANIGAKI YUKIO
分类号 H01L27/10;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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