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发明名称 VAKUUM-AUFDAMPFVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2711714(A1) 申请公布日期 1977.09.22
申请号 DE19772711714 申请日期 1977.03.17
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 MARUYAMA,EIICHI;HIRAI,TADAAKI;ISHIOKA,SACHIO;YAMAMOTO,HIDEAKI;INAO,KIYOHISA;HACHIOJI TOKIO
分类号 C23C14/54;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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