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发明名称 METHOD OF AND DEVICE FOR GRINDING
摘要
申请公布号 JPS52112892(A) 申请公布日期 1977.09.21
申请号 JP19770005371 申请日期 1977.01.20
申请人 HEADWAY RES INC 发明人 BAAN DEERU SHITSUPUMAN
分类号 B24B9/00;B24B9/06;B24B35/00;H01L21/304 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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