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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52112290(A) 申请公布日期 1977.09.20
申请号 JP19760029019 申请日期 1976.03.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YANO KENJI
分类号 H01L21/764;H01L21/76;H01L27/00 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
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