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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS52110571(A) 申请公布日期 1977.09.16
申请号 JP19760026830 申请日期 1976.03.12
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HATSUTORI TSUKASA;TETSUYA TOSHIO
分类号 H03F3/347;H01L21/28;H03F3/34 主分类号 H03F3/347
代理机构 代理人
主权项
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