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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR MASKEN-AUSRICHTUNG BEI VERKLEINERUNGSPROJEKTION
摘要
申请公布号 DE2707477(A1) 申请公布日期 1977.09.15
申请号 DE19772707477 申请日期 1977.02.21
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 KOIZUMI,MITUYOSHI;AKIYAMA,NOBUYUKI;KUNI,ASAHIRO
分类号 H01L21/30;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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