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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON HALBLEITERN
摘要
申请公布号 DE2709628(A1) 申请公布日期 1977.09.15
申请号 DE19772709628 申请日期 1977.03.05
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 FUSHING CHANG,MIKE;ELLIS CLINE,HARVEY;RICHARD ANTHONY,THOMAS
分类号 H01L21/24;C30B13/00;C30B13/02;C30B13/06;C30B13/10;C30B13/34;C30B29/06;H01L21/208;H01L21/761;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
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