| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS52109867(A) |
申请公布日期 |
1977.09.14 |
| 申请号 |
JP19760026729 |
申请日期 |
1976.03.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ITOU MICHIHIRO;MIKI HIDEJIROU |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/40;C30B29/42;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
